熱式質(zhì)量流量計(jì)和控制器工作原理

熱式質(zhì)量流量計(jì)/控制器可提供質(zhì)量流量的直接測(cè)量，與大多數(shù)其他測(cè)量體積流量和需要單獨(dú)測(cè)量溫度和壓力來(lái)?yè)Q算密度并最終計(jì)算質(zhì)量流量的原理不同。

質(zhì)量流量?jī)x表實(shí)際在分子水平上測(cè)量和控制流量，可向工藝流程提供高準(zhǔn)確、可重復(fù)和可靠的氣體輸送。

熱式質(zhì)量流量計(jì)和控制器可分為3種不同的傳感器原理：

1. 氣體熱式質(zhì)量流量傳感器，使用旁路原理
2. 氣體熱式質(zhì)量流量傳感器，使用直通/CTA原理
3. 液體熱式質(zhì)量流量傳感器，使用直通/CTA/CPA原理